腐蝕速率實測（80℃, 24h）??

介質(zhì)	濃度	氧化鋁腐蝕率(mm/年)	解決方案
硫酸	50%	0.008	直接使用
鹽酸	30%	0.015	直接使用
?氫氟酸?	?5%??	?**＞10**?	?復(fù)合陶瓷?
混酸(H?SO?+HF)	10%+2%	3.2	表面改性

?HF酸防護技術(shù)：??

1. ?復(fù)合結(jié)構(gòu)：??
   • 基體：99.5%氧化鋁（主體結(jié)構(gòu)）
   • 涂層：CVD沉積SiC（厚50μm，耐HF腐蝕率＜0.01mm/年）
2. ?密封增強：??
   • 采用氟橡膠O型圈（耐HF等級）
   • 界面激光焊接封邊（杜絕滲透）

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