防擊穿核心技術：??
電極結構：
- 類型： 分形梳狀電極（比傳統(tǒng)網格擊穿電壓↑30%）
- 厚度： 10-15μm鉬層（熔點2620℃）
- 埋深： 距表面0.3mm（96% Al?O?耐壓＞20kV/mm）
?梯度介質層設計（專利方案）：??
| 層序 | 材料 | 厚度(μm) | 功能 |
|---|---|---|---|
| 1 | 99.5% Al?O? | 50 | 表面絕緣（Ra＜0.05μm） |
| 2 | Al?O?+20% Si?N? | 100 | 熱膨脹過渡層 |
| 3 | 電極層 | 15 | 鉬/鎢金屬化 |
| 4 | 99% Al?O? | 300 | 基體支撐 |
?關鍵參數驗證：??
- 耐壓測試：DC 25kV（1min無閃絡）
- 熱循環(huán)（-60℃↔200℃）：＞5000次無分層
- 吸力均勻性：±3%（@8kV，300mm晶圓）
